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半導(dǎo)體厚金屬技術(shù)新突破！----世界上最小的U型結(jié)構(gòu)電磁鐵
來(lái)源:內(nèi)容來(lái)自「MEMS」，謝謝！ | 作者:雋思半導(dǎo)體設(shè)備部 | 發(fā)布時(shí)間: 2021-07-12 | 3508 次瀏覽 | 分享到:

     近日，致力于晶圓級(jí)微機(jī)電鑄造(MEMS-Casting?)技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化的創(chuàng)業(yè)公司——邁鑄半導(dǎo)體，成功開(kāi)發(fā)出微型U型結(jié)構(gòu)電磁鐵，這個(gè)比指尖還小的電磁鐵目標(biāo)成為現(xiàn)階段世界上最小的U型結(jié)構(gòu)電磁鐵。相較于直的螺線線圈，U型線圈可以形成閉合磁路，作為電磁鐵產(chǎn)生的電磁力較直的電磁鐵可以大數(shù)十倍。但微型U型線圈的結(jié)構(gòu)卻較直的線圈復(fù)雜的多，采用傳統(tǒng)漆包線繞制的方法很難實(shí)現(xiàn)微型化。而MEMS-Casting技術(shù)則可以完美解決這個(gè)問(wèn)題，并且可實(shí)現(xiàn)批量制造。

    

     如今，作為一項(xiàng)底層的平臺(tái)性技術(shù)，微機(jī)電鑄造不僅可以實(shí)現(xiàn)TSV的微孔金屬化填充，還可以用來(lái)在晶圓上制造復(fù)雜的三維結(jié)構(gòu)，很好的迎合了目前半導(dǎo)體器件進(jìn)一步微型化封裝的需求。為了更好的應(yīng)用這項(xiàng)技術(shù)同時(shí)也響應(yīng)國(guó)家創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)的號(hào)召，2018年顧博士成立了邁鑄半導(dǎo)體科技有限公司，將這項(xiàng)技術(shù)帶上了商業(yè)化的征程。目前在該技術(shù)領(lǐng)域積累了十多項(xiàng)相關(guān)知識(shí)產(chǎn)權(quán)，多家公司/機(jī)構(gòu)在和邁鑄半導(dǎo)體就這項(xiàng)技術(shù)在光刻機(jī)、磁通門電流傳感器以及國(guó)防領(lǐng)域等多個(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用進(jìn)行合作開(kāi)發(fā)。同時(shí)這項(xiàng)技術(shù)在例如消費(fèi)類電子等領(lǐng)域也展現(xiàn)出巨大的應(yīng)用商機(jī)。