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晶圓退火烤箱，500度退火氮氣烘箱
來源: | 作者:雋思半導(dǎo)體設(shè)備部 | 發(fā)布時間: 2015-11-18 | 1347 次瀏覽 | 分享到:

晶圓退火烤箱，500度退火氮氣烘箱：

      晶圓退火需進行升溫處理，升溫處理具有多個升溫階段,每個升溫階段相應(yīng)的升溫速率不同,其中,所述多個區(qū)域在每個所述升溫階段中的溫度不同;對所述多個區(qū)域進行保溫處理;對多個區(qū)域采用氮氣保護，該氮氣烘箱采用輔助降溫方式進行降溫處理。

晶圓退火烤箱，500度退火氮氣烘箱技術(shù)性能：

1 工作室尺寸  W450mm×450mm×H450mm （90L），可定制

2  材質(zhì) 內(nèi)箱采用耐高溫SUS304不銹鋼，外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑

3 溫度范圍 RT+50-550℃

4 控溫精度  +1

5 溫度波動度 ≤±1℃

6 溫度均勻度  ≤1.5%

7 潔凈度 class100/class1000/無要求

8電源及總功率 AC 380V±10%/50HZ 

9 升溫速度  1-10℃/min可調(diào)

10降溫方式  風(fēng)冷降溫/水冷

11氧含量 氧含量≤50ppm 

12 數(shù)據(jù)輸出 氧含量分析儀，溫度記錄儀

13操作方式     彩色觸摸屏控制，可程式/定制運行

14 樣品架   2層不銹鋼沖孔托盤