免费在线无码,青草青青在线精品,欧美在线成人午夜网站,69国产在线一区二区视频

 

就

是

對

待

工

作

的

態(tài)

度

，


個產(chǎn)品，

對待每一

做到極致認(rèn)真

每一個零件
細(xì)
致

每一組數(shù)據(jù)

  • 智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
  • 潔凈烘箱，百級無塵烘箱
  • 氮?dú)夂嫦?，精密充氮烘?/div>
  • LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮?dú)夂嫦?/div>
  • 熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱，高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱
  • HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )
  • 智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
  • 真空無氧固化爐，高溫?zé)o氧烘箱
  • 精密烤膠臺，高精度烘膠機(jī)
  • 超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
最新消息
熱搜：HMDS烘箱 無塵烤箱 無氧烤箱

新  聞  動  態(tài)

 NEWS

選擇HMDS烘箱注意事項
來源: | 作者:雋思半導(dǎo)體設(shè)備部 | 發(fā)布時間: 2020-04-13 | 926 次瀏覽 | 分享到:

  1. 選擇HMDS烘箱的容積

    內(nèi)腔尺寸：450*450*450mm，1-8寸片均適用，4寸晶圓可處理200P/次；

  2. HMDS烘箱真空泵的選擇

    根據(jù)腔體容積，選配合適型號的真空泵。常用渦旋式真空泵又分為油泵和干泵。


◆ 全無油泵，不會污染真空系統(tǒng)
◆ 采用獨(dú)立馬達(dá)與軸承的密封設(shè)計
◆ 體積小巧 
◆ 具有更低的極限壓強(qiáng)
◆ 無任何可能造成災(zāi)害性系統(tǒng)故障的機(jī)械部件

◆ 低噪聲，低振動

3.HMDS烘箱輔助功能選擇：

◆HMDS藥液泄漏報警提示功能

◆HMDS低液位報警提示功能

◆工藝數(shù)據(jù)記錄功能

◆藥液管道預(yù)熱功能 

◆程序鎖定保護(hù)等功能


   HMDS烘箱也稱為智能型HMDS真空系統(tǒng)通過對箱體內(nèi)預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層 HMDS，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。