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一．無塵烤箱，智能無塵烤箱概述
       智能制造主要指生產(chǎn)線現(xiàn)場的生產(chǎn)過程管理、現(xiàn)場監(jiān)控和控制等，包括智能工廠生產(chǎn)過程的數(shù)據(jù)采集及分析，實現(xiàn)生產(chǎn)過程、設(shè)備、資源監(jiān)控的可操作和可視化；要能支持采集不同現(xiàn)場設(shè)備數(shù)據(jù)的要求，支持將生產(chǎn)數(shù)據(jù)及設(shè)備故障信息顯示在監(jiān)控站的屏幕上，實現(xiàn)生產(chǎn)過程的動態(tài)監(jiān)控與管理；實現(xiàn)智能設(shè)備、機(jī)器人和生產(chǎn)線、用戶全流程互聯(lián)對話，實現(xiàn)人機(jī)、機(jī)機(jī)互聯(lián)下的高品質(zhì)、高效、柔性自動化生產(chǎn)等。
      無塵烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。設(shè)備可以使用TCP / IP（使用HSMS標(biāo)準(zhǔn)，SEMI E37）或基于RS-232的協(xié)議與支持GEM的主機(jī)進(jìn)行通信。通常這兩種協(xié)議都受支持。每臺設(shè)備都可以使用由GEM指定的通用SECS-II消息進(jìn)行監(jiān)控和控制。
二．無塵烤箱，智能無塵烤箱特點
1、 SECS / GEM是用于設(shè)備到主機(jī)數(shù)據(jù)通信的半導(dǎo)體設(shè)備接口協(xié)議。在自動化工廠中，接口可以啟動和停止設(shè)備處理，收集測量數(shù)據(jù)，更改變量并為產(chǎn)品選擇配方。 SECS（SEMI設(shè)備通信標(biāo)準(zhǔn)）/ GEM（通用設(shè)備模型）標(biāo)準(zhǔn)以確定的方式完成所有這些工作。
2、 在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 100/10；
3、 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺本身所產(chǎn)生微塵；
4、 采用單面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100/10；
5、 強制送風(fēng)循環(huán)方式，雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到最佳溫度控制精度。
三．無塵烤箱，智能無塵烤箱技術(shù)參數(shù)
1、 無塵等級：Class 100/10;    
2、溫度均勻度：±2℃;    
3、 溫度波動度：±0.5℃（空載）；        
4、 溫控精度：±0.1℃;
5、 潔凈度：100/10級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風(fēng)水平層對流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與潔凈度。
四．無塵烤箱，智能無塵烤箱運行監(jiān)控分析技術(shù)
       智能無塵烤箱運行監(jiān)控分析技術(shù)，通過物聯(lián)網(wǎng)向制造企業(yè)提供針對產(chǎn)品的遠(yuǎn)程智能服務(wù)，包括遠(yuǎn)程監(jiān)控、遠(yuǎn)程預(yù)警、遠(yuǎn)程維護(hù)、數(shù)據(jù)分析等。智能服務(wù)拓展到產(chǎn)品的全生命周期管理。產(chǎn)品智能化服務(wù)系統(tǒng)包括產(chǎn)品遠(yuǎn)程監(jiān)護(hù)與維護(hù)平臺、基于大數(shù)據(jù)挖掘的產(chǎn)品使用分析系統(tǒng)、智能手機(jī)APP自助服務(wù)系統(tǒng)，實現(xiàn)功能包括以下幾類：
●  對各類產(chǎn)品的上多種數(shù)據(jù)進(jìn)行采集、存儲；
●  及時分析用戶使用典型行為；
● 為客戶提供優(yōu)化解決方案及實時監(jiān)控產(chǎn)品使用情況的綜合服務(wù)；
● 產(chǎn)品智能化服務(wù)的成功應(yīng)用可以大大提高工作效率，服務(wù)維護(hù)成本顯著降低，產(chǎn)品差異化程度提升。